Mikrosysteme Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)

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Deutsch | 2025 | ISBN: 3662712326 | 211 Pages | PDF (True) | 56 MB
Das vorliegende Lehrbuch bietet eine kompakte Zusammenfassung des Wissens, das für die Anwendung von Mikrosystemen notwendig und hilfreich ist. Es vermittelt den aktuellen Stand der Technik und illustriert anhand ausgewählter Beispiele den Einsatz verschiedenster Technologien und Lösungsansätze. Im ersten Teil des Lehrbuchs liegt der Fokus auf den Materialien und Technologien, die zur Herstellung von Mikrosystemen angewendet werden. Neben einer kurzen Zusammenfassung der Halbleitertechnologien, werden die speziellen zusätzlichen Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Strukturen beschrieben. Desweiteren werden spezielle Packagings für Mikrosysteme vorgestellt. Im zweiten Teil des Lehrbuchs liegt der Fokus auf MEMS-Sensoren (Micro-Electro-Mechanical Systems). Diese Sensoren spielen eine entscheidende Rolle in der modernen Sensorik und finden in einer Vielzahl von Anwendungen ihren Platz.


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